El desarrollo de los equipos de litografía de ultravioleta extremo (UVE) ha sido uno de los desafíos tecnológicos más imponentes a los que se ha enfrentado el ser humano. ASML tardó más de dos décadas en tener lista una máquina de litografía UVE plenamente funcional, y contó con el respaldo económico y tecnológico de sus mejores…